韩国半导体大厂相继开启氖气回收计划 回收率超70%

【家电资讯-家电新闻 - 国际传真，韩国划作者：编辑】

　　据韩国业界消息，半导韩国半导体巨头三星电子、厂相超SK海力士正利用氖气回收技术，继开以实现可持续发展，启氖气并降低成本、收计收率减轻供应风险。韩国划SK海力士近日宣布与韩国气体供应商TEMC合作，半导在氖气回收方面取得突破。厂相超三星电子也紧随其后，继开计划在2025年将氖气回收技术整合到其制造工艺当中。启氖气氖气用于半导体光刻中激发激光，收计收率通过利用装置收集废气，韩国划SK海力士与TEMC实现了72.7%的半导氖气回收率，并计划将效率进一步提升至77%。厂相超

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